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Fig. 1（A）に示す。この成膜法は高速マグネトロンス パッタ法とも呼ばれるように成膜速度が速いのが特...



Fig. 1（A）に示す。この成膜法は高速マグネトロンス パッタ法とも呼ばれるように成膜速度が速いのが特徴の...  researchgate.net